什么是inficon真空計？真空的含義是指在給定的空間內(nèi)低于一個大氣壓力的氣體狀態(tài)，是一種物理現(xiàn)象。在真空技術(shù)里，真空系針對大氣而言，一般指特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出，使其壓力小于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，則我們通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。真空常用帕斯卡（Pascal）托爾（Torr）毫巴（mbar）等做為壓力的單位。真空計（VacuumGauge，也稱真空表、真空規(guī)管，是測量真空度或低氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照inficon真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和電容薄膜規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)、熱傳導(dǎo)規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
壓力測量中，除少數(shù)直接測量外，絕大多數(shù)是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現(xiàn)象，然后再測量這一過程中與壓力有關(guān)的物理量，進(jìn)而設(shè)法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。inficon真空計是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。是從真空計本身測得的物理量直接計算出（或得出）壓力的儀器。需經(jīng)過絕對真空計的校準(zhǔn)之后才能進(jìn)行真空度的測量。任何具體物理現(xiàn)象與壓力的關(guān)系，都是在某一壓力范圍內(nèi)才顯著，超出這個范圍，關(guān)系變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學(xué)研究的重要內(nèi)容之一。